SIMS在碲镉汞红外焦平面探测器工艺中的应用

摘要：

文章介绍了二次离子质谱仪的结构及其基本工作原理,并通过对典型应用的分析,介绍了二次离子质谱分析技术在高灵敏度碲镉汞红外焦平面探测器材料和器件制备工艺中的作用,特别是在结探监测和微量杂质监控方面所发挥的重要作用.

关键词：二次离子质谱、碲镉汞、红外焦平面阵列、结深、杂质

所属期刊栏目：36

分类号：TN215;TN305(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2006-12-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：1013-1015