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10.3969/j.issn.1001-5078.2005.12.018

时间监控双离子束溅射沉积制备荧光滤光片

引用
文章对中心波长为488nm、520nm、560nm和600nm的专用滤光片进行了研制,为保证通带高透过率的要求和对背景光的高效抑制,采用单基片进行膜系叠加的方法进行了组合带通滤光片的设计,并采用时间监控膜厚的双离子束溅射沉积薄膜技术进行了镀制,成功的制备出供生化仪使用的一系列荧光栅滤光片.

荧光分析、栅滤光片、时间监控、双离子束溅射

35

O484.1(固体物理学)

新材料领域项目2002AA311141

2006-01-12(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)

共3页

968-970

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激光与红外

1001-5078

11-2436/TN

35

2005,35(12)

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