外差椭偏测量技术及其混频误差分析

摘要：

结合激光外差干涉术和反射式椭偏测量技术,设计了一种抗干扰能力强,快速、高精度测量纳米厚度薄膜光学参数的方法.着重分析并计算了非线性混频误差对测量精度的影响,其中塞曼激光和波片产生的光束椭偏化是关键因素.定义了评价因子以比较非线性混频误差的相对大小,这对外差椭偏纳米薄膜测量系统的设计有指导意义.

关键词：椭偏测量术、外差干涉、薄膜、混频误差、评价因子

所属期刊栏目：35

分类号：TH744.3(仪器、仪表)

资助基金：广东省自然科学基金031809;广东省高校自然科学基金Z02062;深圳大学校科研和教改项目

在线出版日期：2005-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：438-440