四边形电极结构PSD的特性测试与分析

摘要：

根据单面分流四边形电极结构的正方形PSD的原理,测试并分析我们研制的3mm×3mm正方形PSD的性能.给出反偏电压、光谱响应、暗电流、极间电容、极间阻抗、位置分辨率和位置线性特性等性能的测试结果.并在分析位置特性的非线性失真机理的基础上,给出位置特性非线性失真的修正方法.

关键词：四边形电极结构、位置敏感探测器、性能测试、非线性失真、修正

所属期刊栏目：32

分类号：TN212.14;TN247(光电子技术、激光技术)

资助基金：浙江省科技计划001101420

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：342-344