双折射双频HeNe激光器功率调谐纳米测量研究

摘要：

提出一种基于双折射双频HeNe激光器功率调谐特性的纳米测量原理。当双折射双频HeNe激光器谐振腔长变化时，利用分裂的两个频率的寻常光(o光)和非寻常光(e光)功率调谐特性实现大范围里λ/2(约为0.3μm)低分辨率的测量，在λ/2范围里用o光和e光的等光强点实现纳米级分辨率的测量。将大范围的粗测和小范围的精测结合起来实现较大范围的纳米测量。

关键词：双折射双频HeNe激光器、纳米测量、功率调谐

所属期刊栏目：31

分类号：TN248.2+1;TN247(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家自然科学基金69778010;国家重点基础研究发展计划973计划;北京市自然科学基金4992006

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：99-101