PtSi薄膜超薄化及连续性研究

摘要：

减薄膜厚有利于提高PtSi红外探测器的量子效率.本文研究了膜厚减薄工艺对薄膜连续性的影响,用XRD观察物相,SEM、TEM研究薄膜连续性,并给出理论解释.实验表明用混合生长(S-K)模式能形成超薄连续薄膜.

关键词：PtSi膜、超薄膜、连续性

所属期刊栏目：30

分类号：TN204(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：238-239