单晶锗超精密切削表面粗糙度工艺优化与试验研究

摘要：

为了提高单点金刚切削单晶锗的表面质量,进行了三因素四水平的正交试验,并采用方差分析和极差分析,研究了在单晶锗表面质量分布不均匀条件下表面粗糙度受切削参数的影响.试验结果显示:主轴转速对表面粗糙度值影响明显,而且贡献率最高,主轴转速越大,则表面粗糙度值也越小.获得的最优切削参数组合为主轴转速为3800 r/min、进给速率为2 mm/min、最大切削深度为5 µm.在此切削条件下得到了表面粗糙度为2.4 nm的高精度单晶锗,在扫描电镜下观察其表面质量较好,且表面也比较平滑,切削过程中的切屑呈带状,材料在塑性范围内去除.

关键词：材料、单晶锗、单点金刚切削、切削参数、表面粗糙度

所属期刊栏目：60

分类号：O484(固体物理学)

在线出版日期：2023-11-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：156-162