放电泵浦深紫外准分子激光关键技术与应用

摘要：

准分子激光是大功率输出的深紫外波段激光光源,在多方面具有独特的应用,然而国内的准分子激光行业在关键技术、高端产品等方面和国外仍有一定差距,存在着"卡脖子"的状况.首先介绍了准分子激光的基本特性、应用分类、国内外的发展情况等;其次着重介绍了放电泵浦准分子激光的基本结构和目前实用器件的多项关键技术,主要包括快脉冲激励源、气体放电腔、光学谐振腔等;最后,介绍了放电泵浦准分子激光在工业、医疗、科研等领域目前的主要应用和进展,分析了其中的一些独特的关键技术.

关键词：激光光学、准分子激光、放电泵浦、深紫外

所属期刊栏目：60

分类号：TN248.2(光电子技术、激光技术)

资助基金：中国科学院科研仪器设备研制项目;基础加强计划重点基础研究项目;中国科学院青年创新促进会项目;国家自然科学基金;国家科技重大专项;国家科技重大专项

在线出版日期：2023-11-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共14页

页码：52-65