基于As40Se60硫系玻璃的长波红外增透膜研制

摘要：

As40See0硫系玻璃基底沉积红外光学薄膜存在牢固性不足的缺点,以膜层牢固性为研究对象来解决膜层附着力问题.首先选择了合适的膜层材料,完成了膜系的设计及优化;然后以沉积温度为影响因素进行单因素实验,研究了 ZnS连接层的镀制工艺和残余应力,采用无离子源辅助的办法降低了连接层的残余应力,提高了膜层附着力;最终解决了较高温度下的薄膜脱膜问题,研制了一种透过波段为8～12μm的红外增透膜,并确定了镀制工艺运用于实际生产.所制备的薄膜平均透过率为98％、平均反射率为0.6％,附着力、高低温、湿热实验满足GJB2845-1995标准中的要求.

关键词：薄膜、增透膜、硫系玻璃、连接层、红外光学、残余应力

所属期刊栏目：60

分类号：O484(固体物理学)

在线出版日期：2023-05-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：408-414