宽截止高Q值带通滤光片研究

摘要：

选取TiO2和SiO2作为高、低折射率材料,采用传统设计方法(将长波通膜系和短波通膜系分别镀制于基底两侧,厚度分别为1.67 μm和8.67 μm)设计了蓝宝石基底宽截止高Q值带通滤光片.为避免膜厚差值过大导致的滤光片面形变化较大问题,重新调配了基底两侧的膜系,优化后两侧膜层的数量分别为49层和50层,膜层厚度分别为5.73μm和4.22 μm.采用电子束蒸发物理气相沉积法镀制薄膜,并用分光光度计测试了样品的透过率.实验结果表明,样品在通带(521～596 nm)内的平均透过率达到96.59％,在截止区域的平均透过率为0.076％,通带矩形度为0.95,通带两边过渡带的陡度均为0.89％,具有高Q值的滤光片特性.此外,实验曲线和设计曲线的一致性较好,验证了优化两侧膜系结构的有效性.

关键词：薄膜、膜系设计、带通滤光片、薄膜制备

所属期刊栏目：60

分类号：O484(固体物理学)

资助基金：国家自然科学基金;江苏省轻工光电工程技术研究中心

在线出版日期：2023-05-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共9页

页码：399-407