MgO薄膜嵌埋Fe纳米颗粒的紫外窄带增透研究

摘要：

采用脉冲激光气相沉积技术制备了 Fe/MgO纳米复合薄膜,研究了脉冲数对复合薄膜结构、成分和光学性质的影响.X射线衍射分析表明:沉积的Fe纳米颗粒在脉冲数大于500时出现了晶面取向为(211)的衍射峰,证实了该复合薄膜中Fe、Mg、O元素的存在;Fe纳米颗粒在MgO薄膜中部分被氧化,存在单质态与氧化态(含量比约为3∶2).高分辨透射电子显微镜分析表明:当脉冲数为100时,平均粒径约为2.73 nm的Fe纳米颗粒在MgO薄膜中呈椭球型均匀分布,且Fe纳米颗粒之间的平均间距约为1.75 nm.椭圆偏振光谱分析表明:当波长小于365 nm时,Fe/MgO纳米复合薄膜的折射率和色散灵敏度随脉冲数的增加而增加.紫外可见光谱分析表明:相比纯MgO薄膜,Fe/MgO纳米复合薄膜在190～235 nm波段出现了明显的紫外窄带增透现象;当作用于Fe靶的激光脉冲数达到300时,Fe/MgO纳米复合薄膜在197 nm处的透过率约为69.4％.

关键词：薄膜、Fe/MgO纳米复合薄膜、紫外增透、椭圆偏振、吸收

所属期刊栏目：60

分类号：O484(固体物理学)

资助基金：西南科技大学博士基金;西南科技大学博士基金;四川省自然科学基金青年项目

在线出版日期：2023-05-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：391-398