相位校正器的粘接热应力分析

摘要：

粘接工艺会影响相位校正器的实际性能,然而在研制过程中相位校正器的镜面常出现破损情况.分析粘接工艺后校正面面形的特征和镜面破损的特点发现,镜面玻璃与连接柱头材料之间热膨胀系数差异过大会导致高温固化后校正面相应位置的残余应力过大.建立数值模型对连接处的热应力进行仿真,并选取热膨胀系数与镜面玻璃相近的柱头材料以及固化温度更低的黏接剂减小残余应力.将柱头材料更换为热膨胀系数与玻璃材料(K9)更匹配的3Cr13,实验结果表明,高温固化后相位校正器的静态面形有了极大改善,多次实验均未出现校正面破损的情况.

关键词：光学器件、相位校正器、粘接热应力、高温固化、镜面破损

所属期刊栏目：60

分类号：O439(光学)

资助基金：重庆市教育委员会科学技术研究计划青年项目KJQN202100546

在线出版日期：2023-05-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：294-299