凸面锗窗口亚波长抗反射结构的设计与制备

摘要：

红外光学成像系统的灵敏度与光学窗口透射率密切相关,锗窗口是红外光学系统的常用窗口,在锗窗口上制备亚波长结构可以增强抗反射性能从而提高透射率,且常选择凸面窗口以获得更大的视场角.针对在曲面窗口上亚波长结构的制备工艺较为复杂的难题,本文运用柔性紫外纳米压印方法(soft UV-NIL),在凸面锗窗口表面高效、高质量地制作了亚波长抗反射结构.首先基于时域有限差分方法优化设计了亚波长抗反射结构参数,然后基于soft UV-NIL工艺制备了符合设计要求的亚波长结构.测试结果表明,在3.55～5.55 μm波长范围内,凸面锗窗口单面平均透射率由65.81％提升到78.68％,在波长为4.4μm处,透射率由65.85％提升至83.13％,实现了中红外宽波段抗反射效果.

关键词：光学设计、微结构制造、亚波长结构、柔性紫外纳米压印、抗反射

所属期刊栏目：60

分类号：O485(固体物理学)

资助基金：国家自然科学基金;深圳基础研究计划

在线出版日期：2023-05-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：222-227