大视场大数值孔径显微物镜光学设计
在纳米激光直写加工系统中,显微物镜是其中的关键部件,行业发展的趋势是在大数值孔径(NA)下具有更大的物方视场,并且能适应双光子聚合(Two-photon polymerization,TPP)胶折射率的变化.对比当前TPP效应研究所用显微物镜的指标,挖掘了物方视场、NA和镜片数的关系,并提出物镜的合成敏感度指标(Synthetic sensitivity index,Iss).结合Iss设计了一款波段为500~800 nm、NA大于1.3、物方视场为1.0 mm的显微物镜.该物镜的设计结果为,调制传递函数曲线接近衍射极限,波像差均方根小于0.07λ,以内调焦方式来适应TPP胶折射率的变化.公差分析表明该设计结果具有可行性.
光学设计、大视场、大数值孔径、平场复消色差显微物镜、激光直写、微纳加工
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O439(光学)
2023-05-09(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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