高精度光谱共焦位移测量技术研究进展

摘要：

随着我国先进制造业的快速发展,光谱共焦位移测量技术以其精度高、适应性强、效率高等优势而得到广泛关注,被应用于诸多行业.本文首先介绍了光谱共焦技术的应用进展,对其在表面形貌及工件厚度测量方面的研究成果进行分析,从多个方面说明了光谱共焦技术在位移测量过程中的性能特点.其次,针对光谱共焦技术的关键组成阐述了其研究进展情况,包括宽谱光源、色散物镜、共轭小孔以及光谱检测与处理等方面的主要成果,展示了各种创新思想在光谱共焦技术中的具体实现,并对各种技术方案进行对比分析,梳理了光谱共焦仪器的技术特点及优缺点.最后,对光谱共焦位移测量技术存在的技术问题进行了总结和展望,以期为光谱共焦技术的性能提升和应用拓展提供有益参考.

关键词：仪器、测量与计量、位移测量、光谱共焦技术、宽谱光源、色散物镜、共轭小孔

所属期刊栏目：60

分类号：O436.1(光学)

资助基金：中国工程物理研究院材料所特聘人才项目;国家自然科学基金;广东省基础与应用基础研究基金;深圳市科技计划基础研究稳定支持项目

在线出版日期：2023-07-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共16页

页码：212-227