面向制造的光学面形超精密测量技术研究进展

摘要：

超精密测量是光学制造的前提.高精度的光学面形测量仍然遵循零位检验原则,计算机生成全息图(CGH)是自由曲面等复杂面形零位检验所必需的补偿器.为此,面向制造过程,重点论述CGH补偿检验原理及其衍射级次的鬼像干扰、投影畸变校正、测量不确定度与绝对检验问题,探讨CGH补偿检验的局限与应对方法.针对制造过程中产生的动态演变局部大误差的测量难题,论述子孔径拼接测量、自适应补偿干涉测量方法,探讨加工原位干涉测量进展.最后,从超高精度测量与溯源、混合光学零件的宏微跨尺度测量、自主可控面形测量仪器及其原位集成三个方面对光学面形测量技术发展进行展望.

关键词：测量、超精密测量、零位检验、光学面形计量、光学自由曲面、计算机生成全息图

所属期刊栏目：60

分类号：O436(光学)

资助基金：国家自然科学基金51975578,51991371

在线出版日期：2023-07-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共14页

页码：168-181