悬浮打印的波长可控光热微执行器及其特性

摘要：

光热微执行器广泛应用于光学微机电系统和微机器人.利用功能染料的窄带吸波特性制作可控制性强、位移大的波导式激发光热U型微执行器,并仿真了该执行器的温度和位移变化.制作了单臂长度和半径分别为 5.8 mm和200 μm的窄波段响应光热微执行器.实验结果表明,本方案制作的执行器具有位移响应大、能量利用率高、生产成本低以及集成度高的优势.在功率为100 mW激光的驱动下,该执行器自由端能在紫光(408 nm)或红光(638 nm)波段实现100～160 μm的位移,远大于非对应波段光束产生的位移(20 μm).

关键词：激光光学、光热微执行器、窄带吸收特性、悬浮打印、水凝胶

所属期刊栏目：60

分类号：TN209(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家自然科学基金;国家自然科学基金;江苏省自然科学基金;江苏省自然科学基金;射频集成与微组装技术国家地方联合工程实验室开放课题;江苏省科研与实践创新计划项目;江苏省研究生科研与实践创新计划项目

在线出版日期：2023-07-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：217-222