多孔硅基V02纳米颗粒复合体的制备及增强No2室温气敏特性研究

摘要：

为了提高室温下多孔硅对NO2气体的灵敏度,提出采用化学气相输运沉积法在多孔硅表面生长VO2纳米颗粒,形成多孔硅基VO2纳米颗粒复合结构,通过调节VO,的沉积压强来改变VO2纳米颗粒的尺寸,研究其对多孔硅基VO2纳米颗粒复合结构室温气敏性能的影响.利用场发射扫描电子显微镜、X射线衍射仪、能谱仪和透射电子显微镜对复合结构的微观形貌、物相和晶体结构进行表征分析.实验结果表明,在沉积压强为330 Pa下获得的复合结构,对摩尔分数为5×10-6的NO2的室温灵敏度达到最大(13.15),是多孔硅灵敏度的5.95倍,并具有良好的选择性.对NO2展现出优异的气敏性能是由于粒径较小的VO2纳米颗粒表面活性增强,与多孔硅之间形成较宽的耗尽层,从而提高了气敏性能.该研究将有助于提升多孔硅在NO2气敏传感器中的应用.

关键词：材料、多孔硅、VO2纳米颗粒、异质结、NO2气敏传感器

所属期刊栏目：59

分类号：O484(固体物理学)

资助基金：国家自然科学基金;天津市科技重大专项

在线出版日期：2023-03-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：180-187