石墨烯MIS结宽光谱光电特性的研究

摘要：

Ge基光电探测器具有独特的通信带宽响应特性和良好的CMOS工艺兼容性,在光电探测方面具有广阔的应用前景.但目前商用探测器的响应波段普遍局限在某一波段,难以满足多波段融合、小型化的探测需求.因此,通过在多层石墨烯和N型Ge之间引入薄的Si02界面层,制备了基于石墨烯金属-绝缘层-半导体(MIS)结的光电探测器,分析了 SiO2的厚度以及石墨烯层数对MIS结器件性能的影响,并测试了器件的光谱响应范围、电流-电压曲线、响应度、开关比等光电特性.结果表明,该器件在254～2200 nm波段内均有响应,在980 nm处的响应度和开关比达到峰值,分别为78.36 mA/W和1.74×103,上升时间和下降时间分别为1 ms和3 ms.

关键词：探测器、石墨烯、Ge基光电探测器、宽波段、红外光电探测器

所属期刊栏目：59

分类号：O436(光学)

资助基金：国家自然科学基金;陕西省重点研发计划

在线出版日期：2022-11-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：123-130