氩气放电等离子体特征参数的光谱测量方法

摘要：

针对采用氩气放电方式产生等离子体的离子引出模拟研究需求,提出一种等离子体密度及电子温度等关键特征参数的光谱测量方法.根据氩等离子体状态建立反映其粒子间动力学反应过程的粒子布居平衡模型,并通过对比分析实验测得的发射光谱获取等离子体相关特征参数信息.实验结果表明,该光谱测量方法可获取典型工况下射流区内氩等离子体的密度及电子温度等关键参数信息,为离子引出过程的模拟研究提供一种可靠和实用的等离子体参数测量手段.

关键词：光谱学、等离子体密度、电子温度、氩气放电、发射光谱、粒子布居平衡模型

所属期刊栏目：59

分类号：O433(光学)

在线出版日期：2022-11-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：399-403