电子轰击有源像素传感器光谱响应测试系统设计

摘要：

电子轰击有源像素传感器(EBAPS)是一种利用真空技术将光阴极、电子敏感有源像素传感器(APS)芯片和基座封装成的真空-固体混合型微光器件.积分灵敏度是EBAPS重要的性能参数之一,但国内目前还缺乏相应的测试手段.因此,基于EBAPS的工作原理和微光像增强器的光谱响应测试方法,用数字-电子转换因子和输出信号得到的电子数对光谱响应度进行表征,并设计了 EBAPS的光谱响应测试系统.利用该系统获得了 EBAPS器件在-800 V工作电压下的光谱响应曲线,器件的积分灵敏度为3.2×108(s·lm)-1,重复度为0.65％.

关键词：探测器、电子轰击、有源像素传感器、光谱响应、测试系统、电子数

所属期刊栏目：59

分类号：TN223(光电子技术、激光技术)

资助基金：国防基础重点突破项目;国防预研项目

在线出版日期：2022-08-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：113-118