多层压电驱动器在光刻机中的应用
多层压电驱动器具有体积小、响应快、刚度大、位移精度高、驱动力大等优点,在光刻机的开发中有广泛的应用.简要介绍了多层压电驱动器的基本结构与特征,列举了多层压电驱动器在光刻机投影物镜的高精度微调、掩模台的定位及光刻机的主动减振等方面的典型应用.最后,对多层压电驱动器的发展方向进行了展望.
多层压电驱动器、光刻机、投影物镜、主动减振
59
O469(真空电子学(电子物理学))
上海市国际合作项目20520730600
2022-06-28(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共10页
393-402