大口径矩形SiC扫描反射镜组件的设计

摘要：

为了减轻大尺寸(740 mm×480 mm)矩形扫描反射镜的质量并保证反射镜的面形精度,结合二维和三维等效刚度模型设计了背部开口、以三角形轻量化孔为主、轻量化率为81.4％的轻量化结构.基于球头万向节与柔性铰链原理,设计了两种背部三点支撑方式的SiC扫描反射镜组件.有限元分析结果表明,在Y方向重力及40℃均匀温差耦合工况下,球头万向节与柔性铰链支撑方式的反射镜面形误差均方根(RMS)值满足小于等于0.025λ(波长λ=632.8 nm)的设计要求,分别为12.3 nm和12.9 nm,一阶固有频率分别为68.1 Hz和85.5 Hz,且柔性铰链结构的刚度更好.采用自准直法测量扫描反射镜组件的面形误差,结果表明,面形误差的RMS值为0.025λ,满足实际要求,为大口径矩形扫描反射镜组件的设计提供了参考依据.

关键词：光学设计、扫描反射镜、球头万向节、柔性铰链、面形误差

所属期刊栏目：59

分类号：TH122

资助基金：国家重点研发计划2016YFB0500301

在线出版日期：2022-04-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：254-261