飞秒激光烧蚀光斑的亮度特征及分形维数

摘要：

飞秒激光在微加工过程中衍生的等离子体亮度特征可作为实时反馈的测量信号,因此,研究光斑亮度特征并构造细节信息丰富的高质量亮度变化曲线具有重要意义.首先,针对光斑图像信噪比低、目标区域边缘模糊的情况,采用改进的小波阈值去噪法对光斑图像进行滤波处理,在不改变光斑亮度水平的情况下得到边缘对比度较高的平滑光斑.然后,采用K均值聚类方法分割光斑图像,将表现为噪声的光晕部分分割出去,只保留亮度有效的区域.最后,提取光斑序列图像的亮度变化曲线,用分形与多尺度软阈值滤波相结合的方法对曲线进行处理,得到含有丰富细节信息的高质量亮度变化曲线.用不同功率的光斑图像计算亮度与分形维数,结果表明,光斑亮度和光斑变换的复杂性均随激光加工功率的增大而增大.

关键词：超快光学、飞秒激光、等离子体光斑、小波处理、光斑亮度

所属期刊栏目：58

分类号：TN249(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2022-03-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共12页

页码：519-530