蓝宝石衬底上镍辅助的界面石墨烯生长

摘要：

基于AlN和GaN等Ⅲ族氮化物材料的第三代半导体照明器件具有广阔的应用前景,但常用的蓝宝石衬底散热差且与AlN、GaN存在较大的晶格失配和热失配,限制了该器件的推广应用.石墨烯是仅由碳原子组成的二维层状材料,层与层之间以范德瓦耳斯力结合,将其作为缓冲层能够缓解蓝宝石与Ⅲ族氮化物的失配问题.在蓝宝石基石墨烯缓冲层上外延AlN等氮化物后,利用石墨烯缓解蓝宝石衬底与AlN等Ⅲ族氮化物晶格失配较大的问题,有利于大功率发光二极管的制备.但石墨烯在绝缘衬底上的生长是一个难题.本课题组在蓝宝石衬底上镀金属镍层,然后利用镍辅助实现了蓝宝石衬底上石墨烯的生长,为利用石墨烯实现大功率半导体发光二极管打下了基础.

关键词：材料、石墨烯、镍、发光二极管、品格失配、散热

所属期刊栏目：58

分类号：TN36(半导体技术)

资助基金：中国消防救援学院院级项目XF2020-XM

在线出版日期：2022-03-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：277-281