外差干涉仪非线性误差补偿抑制与测量研究进展

摘要：

由于存在周期性的非线性误差,外差激光干涉仪的测量精度很难提高.对此,首先分析了外差激光干涉仪中非线性误差的来源,包括频率混叠、偏振混叠与鬼影虚反射.然后讨论了非线性误差的补偿与抑制技术,包括干涉信号处理、传统结构改进、偏振光空间分离、调相双零差干涉,接着介绍了非线性误差的测量技术,包括干涉信号处理测量、双相位差分检测、法布里-珀罗干涉仪检测.最后对非线性误差的补偿、抑制和测量技术做了总结与展望,为相关领域的研究提供了参考与借鉴.

关键词：测量、外差干涉、非线性误差、误差补偿、非线性测量

所属期刊栏目：58

分类号：TH741(仪器、仪表)

资助基金：国家自然科学基金;北京市自然科学基金面上项目;国家重点研发计划;中国计量科学研究院重点领域基本科研项目

在线出版日期：2021-08-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共13页

页码：30-42