InP基单光子探测器的发展和应用

摘要：

InP/InGaAs单光子探测器经过近40年的发展,其主要性能指标探测效率达到了60％,暗计数率在20 kHz以内(-20℃温度下),时间抖动、后脉冲以及光子计数率也在进一步提高,目前已经获得百ps以内的时间抖动,后脉冲概率1％～5％,光子计数率达到GHz.进一步的性能提升需要考虑具有更小离化系数比和过剩噪声的材料系统,以及具有多增益放大并能对雪崩增益进行控制和调节的器件,在减小后脉冲的同时维持一定的器件增益;波长进一步扩展,以提供更多的波长选择;芯片内部集成自淬灭以简化电路,同时实现自由运行单光子探测,并易于集成到盖革模式单光子焦平面阵列.本文对常规SAGCM(分离吸收、缓变、电荷层、倍增结构)的InP/InGaAs单光子探测器的最新发展,以及基于该技术发展的新器件技术进行了报道和介绍.

关键词：探测器、单光子探测器、InP基雪崩光电二极管、短波红外、阵列

所属期刊栏目：58

分类号：TN36(半导体技术)

资助基金：国家科技重大专项2018ZI002

在线出版日期：2021-07-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共13页

页码：113-125