超快激光抛光硬脆光学材料工艺数值模拟研究

摘要：

为了分析抛光过程中工艺参数对超快激光抛光硬脆光学材料表面的影响,基于超快激光与硬脆电介质材料的相互作用机理,根据超快激光抛光电介质材料的去除函数解析模型,建立与离焦量和入射角两个加工参数有关的单脉冲材料去除模型.利用软件并根据电介质材料多脉冲烧蚀阈值的变化规律,建立超快激光抛光硬脆光学材料的抛光计算模型,利用该模型计算超快激光在不同入射角与前进步长下对材料表面的抛光结果.此计算模型可以直观地解释超快激光抛光光学材料的抛光结果,并为选择合适的激光抛光工艺参数方法提供新的理论指导.

关键词：超快光学、超快激光、激光抛光、数值研究、光学材料

所属期刊栏目：58

分类号：O786(晶体生长)

资助基金：国家自然科学基金U1830120

在线出版日期：2021-05-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：328-334