激光汤姆孙散射测量容性耦合等离子体的电子密度

摘要：

设计了一种测量电容耦合等离子体电子密度时间演化的YAG激光汤姆孙散射系统.电容耦合等离子体是在真空条件下由300 W射频电源供电的板极装置中产生的.采用最大转换增益5.0×10V/W的硅雪崩光电二极管(APD)测量波长范围为200～1000 nm的Nd∶YAG激光汤姆孙散射信号.为了提高汤姆孙散射信号强度,在等离子体发生器两侧设置一个光学振荡腔,用于加长驱动激光与等离子体地接触长度和放大汤姆孙散射信号,提高信号光的总发射强度.此外,在APD前端还设置了信号采集系统和多级滤波系统,以提高信噪比.最后,依据汤姆孙散射原理设计计算等离子体电子密度的反演算法,并将计算结果与朗缪尔探针的测量结果进行了对比,验证了该算法的有效性.

关键词：激光光学、等离子体诊断、电容耦合等离子体、汤姆孙散射、电子密度测量

所属期刊栏目：57

分类号：TL65+3(受控热核反应（聚变反应理论及实验装置）)

资助基金：国家重点研发计划;北京市教委科技重点项目;国家自然科学基金

在线出版日期：2021-03-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：213-217