基于CO2激光加工的法布里-珀罗光学微腔阵列的制备

摘要：

主要研究了基于CO2激光微加工实现法布里-珀罗(FP)光学微腔阵列的制备.首先,通过CO2激光微加工和掩模板相结合的方法,在玻璃基底上制备了阵列型的凹面结构,并对结构的特性进行了分析.测量及模拟分析结果表明,凹面结构可近似为高斯曲面,深度范围为0.042～0.64 pm,半峰全宽范围为11.30～16.60μm;结构底部可近似为球面.随后,通过镀介质膜和微腔封装,制备了FP微腔阵列,采用平面镜-凹面镜的微腔组装形式,形成FP稳定腔.最后,测试了微腔阵列中光微流激光的产生.

关键词：激光光学、法布里-珀罗微腔、微腔阵列、CO2激光烧蚀、光学掩模、光微流激光

所属期刊栏目：57

分类号：TN242(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家自然科学基金;山西省自然科学基金

在线出版日期：2021-03-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：200-204