直接相位测量偏折术中显示屏折射效应补偿方法

摘要：

直接相位测量偏折术(Direct Phase Measuring Deflectometry,DPMD)解决了非连续镜面物体的测量问题,其通过数学模型直接建立了相位与深度之间的关系.在DPMD系统中,采用液晶显示屏(Liquid Crystal Display,LCD)显示具有高对比度的条纹图案,通过相机采集经被测镜面反射的变形条纹图像,但是LCD透明层的折射效应导致DPMD测量结果出现误差.因此,提出了一种补偿DPMD系统中显示屏折射效应的方法.先建立单层折射模型,并利用光线方程标定透明层厚度及折射率.然后利用系统几何关系标定折射角角度.最后基于标定好的参数计算偏移量,对系统的深度数据进行补偿.对一个镜面台阶和一个凹面镜进行了测量,结果表明,测试精度提高了30％.因此,该方法有效提高了偏折术的测量精度.

关键词：测量、直接相位测量偏折术、液晶显示屏、折射效应、误差补偿

所属期刊栏目：57

分类号：TH741(仪器、仪表)

资助基金：国家重点研发计划;国家自然科学基金

在线出版日期：2020-12-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：146-153