飞秒激光过饱和掺杂硅基光电探测器研究进展

摘要：

基于过饱和掺杂硅材料制备的光电探测器表现出低电压高增益、可见光到近红外波段宽光谱响应等优点,主要介绍了飞秒激光过饱和掺杂的作用机制,以及相应硅基光电探测器的国内外研究进展,具体讨论了如何提升器件响应、抑制暗电流、改善材料品格质量、提升载流子输运能力等问题,介绍了器件在柔性光电子领域的应用拓展,并展望了飞秒激光过饱和掺杂硅基光电探测器的发展前景.

关键词：激光光学、飞秒激光、黑硅、过饱和掺杂、光电探测器

所属期刊栏目：57

分类号：O474;O482(半导体物理学)

资助基金：国家自然科学基金;国家自然科学基金;高等学校学科创新引智计划计划;长江学者;创新团队发展计划

在线出版日期：2020-07-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共13页

页码：385-397