短/超短脉冲激光诱导等离子体微加工研究进展

摘要：

当高强度短/超短脉冲激光聚焦于靶材表面或介质内部时,若其峰值功率密度超过某一阈值,靶材表面或介质内部会形成等离子体,等离子体与工件相互作用进行材料去除,这一过程称为激光诱导等离子体微加工(LIPMM).这一加工技术可以高效吸收激光能量,具有损伤小、效率高、应用广等特点,已被广泛应用于微加工领域.为此介绍了LIPMM的微加工原理,进一步阐述了以固体为靶材和以液体为介质的LIPMM的研究进展,对LIPMM未来所面对的问题和发展方向进行了总结和展望.

关键词：激光光学、微加工、短/超短脉冲激光、激光诱导等离子体微加工

所属期刊栏目：57

分类号：TN249(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家自然科学基金;中央高校基本科研业务费专项

在线出版日期：2020-07-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共13页

页码：61-73