折射型红外微透镜阵列器件的发展及制备

摘要：

光学器件的小型化、集成化是现代光学系统发展的重要趋势.在微小光学器件中,阵列化折射成像微光学器件主要包括微透镜阵列器件等,广泛应用于成像、计量、波束整形等领域.针对红外波段成像、计量测量、激光加工等领域的特殊应用需求,红外波段工作的微透镜阵列器件受到了广泛重视,并得到迅速发展.总结了红外微透镜阵列器件的发展及制备方法,包括使用不同材料、不同制造方法制备红外微光学器件,以及红外微透镜阵列器件在红外波段成像、计量、并行加工、光束匀化方面的应用,分析了红外微透镜阵列器件及其制造方法存在的挑战与机遇.

关键词：红外波段、微透镜、微透镜阵列、红外成像

所属期刊栏目：57

分类号：O436(光学)

资助基金：国家自然科学基金;国家重点研发计划;中国博士后科学基金;中央高校基本科研业务费专项

在线出版日期：2020-06-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共16页

页码：90-105