TiO2薄膜表面粗糙度与散射特性研究

摘要：

通过电子束热蒸发技术在K9玻璃上镀制光学厚度为λ/4的TiO2薄膜,研究不同沉积速率和沉积角度对TiO2薄膜散射损耗的影响规律和机理,并利用TalysurfCCI白光干涉表面轮廓仪和Horos散射仪分别测量镀制前后薄膜表面粗糙度和双向反射分布函数.实验结果表明:TiO2薄膜表面粗糙度随着沉积速率的增大而减小,最终趋于0.88 nm,且实验值都小于基底表面粗糙度1.5 nm,说明TiO2薄膜可以降低基底表面粗糙度,具有平滑基底的作用.随着入射沉积角的增大,薄膜的表面粗糙度逐渐增大,当沉积角为0°和20°时,薄膜表面粗糙度小于基底表面粗糙度;当沉积角为40°和60°时,薄膜表面粗糙度大于基底表面粗糙度.薄膜表面散射量随表面粗糙度的减小而降低,两者具有正相关关系,实验数据与理论计算结果相吻合;当薄膜表面粗糙度小于基底粗糙度时,薄膜表面散射将低于裸基底的表面散射,可实现减散射的效果.

关键词：薄膜、表面粗糙度、双向反射分布函数、光学厚度

所属期刊栏目：57

分类号：O484(固体物理学)

资助基金：陕西省自然科学基础研究计划;陕西省教育厅重点实验室科研计划项目

在线出版日期：2020-05-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：254-258