离子束抛光等量去除的实现及抛光实验

摘要：

为了提高光学元件的面形精度,精确拟合出离子束去除函数.以去除函数的方均根(RMS)为分析对象,分析不同叠加间距下离子束等量去除的去除量及波动量.根据理论及实验数据分析验证一维等量去除的可行性,得出最优叠加间距为σ.再以σ为叠加间距进行二维等量去除理论及实验分析,通过30 s熔石英二维等量去除实验,得出去除量为384.7 nm.结合抛光实验,对RMS值为138.5 nm的Φ100 mm口径的熔石英平面窗口玻璃进行面形修正,加工后RMS值为18 nm,面形收敛率达到7.82.

关键词：光电子学、光学加工设备、离子束抛光、去除函数、叠加间距、等量去除

所属期刊栏目：57

分类号：TG356.28(金属压力加工)

资助基金：陕西省教育厅重点实验室项目18JS053

在线出版日期：2020-05-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：234-240