基于图像处理的线距测量方法

摘要：

关键尺寸扫描电镜(CD-SEM)是对微纳尺寸线距标准样片定标的标准器具.为提高标准样片的定标准确度,研究一种基于图像处理技术的测量算法.首先,对研制样片的特征进行分析;其次,研究线性近似算法和线距测量算法,并分别对100 nm～10 μm的线距标准样片进行测量;最后,利用纳米测量机进行对比实验研究.实验结果表明,线性近似算法的相对误差可以控制在0.45％以内,相比之下,线距测量算法的相对误差可控制在0.35％以内.因此,线距测量算法提高了线距的测量精度,为提高线距测量类仪器量值的可靠性、保证半导体器件制造精度提供了一种测量方案.

关键词：测量、关键尺寸扫描电镜、线距标准样片、微纳尺寸、线性近似算法、图像处理

所属期刊栏目：57

分类号：O436.3(光学)

在线出版日期：2020-05-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：89-93