InP基近红外单光子雪崩光电探测器阵列

摘要：

单光子雪崩光电探测器(SPAD)具有雪崩增益大、响应速度快、探测效率高、易于集成的特点.SPAD阵列器件可进行弱光三维成像,在生物化学、量子通信、激光雷达等领域具有重要应用.因此开展SPAD器件及阵列探测技术的研究具有非常重要的意义.给出了近红外InGaAs/InP SPAD单元工作原理和阵列结构性能,对暗计数率、探测效率、后脉冲等主要影响因素和器件优化方向进行总结,概述了近年来SPAD阵列器件的主要技术方案,给出了串扰来源和消除方法,并对相关研究单位的技术与结果进行对比.

关键词：探测器、雪崩光电二极管、阵列、红外波段、三维成像

所属期刊栏目：56

分类号：TN36(半导体技术)

资助基金：国家重点研发计划;国家自然科学基金

在线出版日期：2019-12-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共12页

页码：1-12