一种高精细度MEMS光纤F-P压力传感器

摘要：

提出并通过实验研究了一种高精细度微机电系统(MEMS)光纤法布里-珀罗(F-P)压力传感器.该传感器基于MEMS技术,将硅片与Pyrex# 7740玻璃片阳极键合并镀上高反介质膜构成一个高精细度的F-P腔.当外界压力发生变化时,F-P腔长会发生变化;采用高灵敏度光纤白光干涉测量技术,通过测量F-P腔长就可获得被测压力.实验结果表明,该传感器压力测量分辨率高,线性度高,并具有低温漂特性.

关键词：光纤传感器、压力测量、微机电系统、法布里-珀罗腔

所属期刊栏目：56

分类号：O436(光学)

资助基金：国家自然科学基金;国家自然科学基金;国家重点研发计划;国家高技术研究发展计划（863计划）

在线出版日期：2019-11-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：306-310