基于干涉法的反射式光栅旋转角度检测方法

摘要：

基于多块光栅拼接理论,建立了光栅旋转角与衍射光束偏角关系的数学模型,设计了一种基于干涉法的光栅旋转角度检测光路,用Zygo干涉仪实现了光栅0级与1级衍射波前检测,并研究了反射镜安装误差引起的模型误差.实验结果表明,利用理论模型对光栅姿态在0～500 μrad内调整时,光栅间栅线平行度的最大相对测量误差为3.85％.而反射镜俯仰角和偏摆角在0"～20"变化时,所引起的光栅间栅线平行度的最大相对测量误差分别为4.99％和3.77％.

关键词：光栅、转角检测、干涉、衍射波前

所属期刊栏目：56

分类号：TN247(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家科技重大专项;国家自然科学基金

在线出版日期：2019-07-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：65-70