基于计算全息元件的大口径非球面透镜透射波前检测方法

摘要：

针对大口径非球面透镜透射波前检测,提出了采用计算全息元件(CGH)作为光路相位补偿元件进行检测的方法.大口径非球面透镜透射波前通常采用球面干涉仪进行检测,为了达到零位检测的目的,在光路中往往需要加入相位补偿元件以补偿高阶像差(HOA).传统的折射式相位补偿元件的精度溯源比较困难,导致检测数据缺乏可信度.将CGH作为相位补偿元件可达到零位检测的目的.针对大口径非球面透镜的透射波前检测,设计并加工了相应的CGH作为相位补偿元件,并与传统的折射式补偿元件进行了对比测试.测试结果表明:两种相位补偿方法的测试数据具有良好的一致性,峰谷(PV)值的差值为0.034λ(λ为检测光的波长),均方根(RMS)值的差值为0.006.λ,因此CGH作为相位补偿元件具有相当高的测试精度.

关键词：测量、计算全息元件、干涉检测、零位测试、相位补偿、测量精度

所属期刊栏目：56

分类号：O436(光学)

在线出版日期：2019-06-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：99-104