基于AlN的MEMS变形镜仿真及驱动性能研究

摘要：

设计了一种基于氮化铝(AlN)材料的压电连续面型变形镜,采用理论分析和COMSOL仿真对该AlN MEMS变形镜的结构进行了优化,拟合了前14项Zernike多项式,对其驱动性能特别是像差矫正能力进行了系统研究.研究结果表明,该变形镜表现出与COMSOL工艺相兼容、制备工艺简单且环保的特点,具有线性控制、大形变量的优势,满足一般自适应光学系统的要求.

关键词：光学设计、自适应光学、变形镜、氮化铝(AlN)、驱动性能、Zernike多项式、微电子机械系统(MEMS)

所属期刊栏目：55

分类号：TH744(仪器、仪表)

资助基金：中央高校基本科研业务费专项;深圳市基础研究项目

在线出版日期：2018-10-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：418-425