ITO薄膜表面等离子体共振波长的可控调节
采用直流磁控溅射的方式,在浮法玻璃衬底上制备了氧化铟锡(ITO)薄膜.通过改变薄膜沉积时间,制备出不同厚度的ITO薄膜.随着膜厚由16 nm逐渐增大到271 nm,其结晶程度得到增强,对应的载流子浓度由4.79× 1020 cm-3增大到2.41×1021 cm-3,表面等离子体共振(SPR)波长由1802 nm逐渐蓝移到1204 nm,实现了近红外区域SPR波长较宽范围的可控调节.采用Drude自由电子气模型,对不同厚度ITO薄膜的SPR波长进行了理论计算,进一步证明了 SPR波长的有效调节取决于膜厚对载流子浓度的影响作用.
材料、表面等离子体、氧化铟锡薄膜、薄膜厚度、载流子浓度
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O531(等离子体物理学)
国家自然科学基金;吉林省科技发展计划;创新基金
2018-09-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共5页
330-334
