光学面形绝对测量方法仿真和实验研究

摘要：

传统光学干涉检测方法为相对检测法,检测精度一般受限于参考面面形精度,利用绝对检测技术可消除参考面面形误差对干涉测量精度的制约,从而可以实现纳米级精度的面形测量.首先介绍了 N位旋转平均绝对检测方法和斜入射绝对检测方法;然后对这两种检测方法和面形恢复过程中运用到的三种算法(旋转平均算法、迭代算法、奇偶函数算法)进行了理论推导和模拟仿真分析;最后通过实验验证了这三种方法恢复的面形精度及其可行性,并对各方法的优缺点和适用性进行了分析比较.最终实现了 100 mm 口径平面镜峰谷(PV)值近λ/40的高精度干涉仪标准平晶绝对面形的测量.

关键词：测量、干涉检测、绝对检测、斜入射、N位旋转平均

所属期刊栏目：55

分类号：O439(光学)

资助基金：国家自然科学基金11602280

在线出版日期：2018-09-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共9页

页码：216-224