垂直腔面发射半导体激光器的特性及其研究现状

摘要：

与传统的边发射半导体激光器相比,垂直腔面发射激光器(VCSEL)具有光束质量好、阈值电流低、易于二维列阵集成和制造成本低廉等优点.近年来,以VCSEL为基础发展起来的电抽运和光抽运垂直外腔面发射激光器 (VECSEL),在获得高的输出功率和光束质量的同时,可以通过在腔内插入光学元件,实现腔内倍频、波长可调谐和锁模等激光技术,在激光领域很有竞争力.本文介绍了面发射半导体激光器的结构、工作原理及性能优势,综述了其在高功率输出、可调谐技术、锁模技术等方面的研究现状与进展,探讨了该类型激光器的发展前景.

关键词：激光器、垂直腔面发射半导体激光器、电抽运、光抽运、高功率、可调谐技术、锁模技术

所属期刊栏目：55

分类号：TN248(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家自然科学基金61505226

在线出版日期：2018-09-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共13页

页码：49-61