硅基光电子集成光控相控阵的研究进展

摘要：

光控相控阵(OPA)不需要机械转动即可实现光束在空间内的扫描,在激光测距以及自由空间光通信等领域具有广阔的应用前景.硅基光电子集成技术可在芯片上实现光电子器件的大规模集成,并与互补金属氧化物半导体(CMOS)集成电路工艺技术完全兼容,以其制作的光控相控阵具有扫描速度快、体积小、成本低、功耗低等特点.目前报道的利用硅基光电子集成技术制作的相控阵,最大的横向扫描范围为80°,最大的纵向扫描范围为36°.简述了硅基光电子集成相控阵的扫描原理,并对国内外最新的研究成果进行了分析总结,最后指出此种技术实用化过程中亟待解决的关键问题,并提出了一些可以提升性能的方案.

关键词：光电子学、光控相控阵、集成光电子器件、光束扫描、激光雷达

所属期刊栏目：55

分类号：TN256(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家重点研发计划;国家自然科学基金

在线出版日期：2018-09-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共11页

页码：1-11