飞秒激光微加工制备无衬底太赫兹带通滤波器

摘要：

利用时域有限差分法,仿真设计了三组具有不同中心频率的十字形太赫兹带通滤波器,并搭建了飞秒激光微加工系统,在单层铝箔上实现了无衬底太赫兹滤波器的加工.利用时域太赫兹光谱系统,对所加工的器件进行了透射率测试,实验和仿真结果高度吻合,所加工的太赫兹滤波器中心频率处的透射率为85％以上,达到商业化太赫兹滤波器水平.

关键词：激光技术、飞秒激光微加工、带通滤波器、太赫兹、时域有限差分法

所属期刊栏目：55

分类号：TN629.1(电子元件、组件)

资助基金：福建省自然科学基金2015J01246

在线出版日期：2018-05-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：360-365