光学相控阵技术研究进展

摘要：

论述了光学相控阵的原理,回顾了光学相控阵的发展历程,特别是近年来硅光子相控阵的研究进展.利用与互补金属氧化物半导体(CMOS)工艺线相兼容的绝缘体上硅(SOI)技术实现了大规模的集成,目前国外报道的最大的硅光子相控阵集成了4096个阵元.在硅光子上实现的二维光束扫描角度可以达到46°×36°,光束宽度只有0.85°×0.18°,天线的损耗小于3 dB,且旁瓣抑制大于10 dB.此外,采用微机电系统(MEMS)器件实现的光学相控阵的光束扫描速度超过0.5 MHz.阐述了各种方式实现光学相控阵的优缺点,并对未来发展前景进行了展望.最后,介绍了光学相控阵在激光雷达、成像、军事上的应用.

关键词：光学器件、光波导、光学相控阵、扫描角度、绝缘体上硅

所属期刊栏目：55

分类号：TN252(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家高技术研究发展计划（863计划）;国家自然科学基金;国家自然科学基金;王宽诚教育基金会项目

在线出版日期：2018-05-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共11页

页码：52-62