基于四分之一波片的菲佐型同步移相干涉测量方法

摘要：

为了实现干涉测量平面的抗振,提出了一种同步移相干涉测量方案并搭建了实验装置.整个测量系统在菲佐移相干涉仪的基础上,利用四分之一波片作为参考镜,获得一对正交偏振光,经过棋盘相位光栅分光,利用光阑选取对于理想光栅衍射效率一致的(±1,±1)级衍射光作为测量分光路,使之先后通过相位延迟阵列和偏振片获得4蝠移相量依次为π/2的干涉图.按照传统的4步移相算法,对被测波面进行了复原.分析了光强畸变和移相误差对系统测量误差的影响.与泰曼型同步移相干涉测量相比,该方案可以简化系统结构,减小系统误差,并且更易装校,更适合用于平面的测量.

关键词：测量、光学测量、菲佐干涉仪、同步移相、四分之一波片、光栅

所属期刊栏目：53

分类号：TH741(仪器、仪表)

资助基金：国家自然科学基金61405092

在线出版日期：2016-12-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：119-125