转轴激光多自由度运动误差测量综述

摘要：

转轴为旋转运动提供了基准,是精密测量、加工、控制等设备的重要运动部件之一,在高端加工制造、航空航天、光学分析等领域具有重要地位.转轴在转动时具有六自由度几何运动误差,通过对六自由度误差的测量,建立误差补偿模型进行误差补偿,是目前世界上普遍采用的用于提高精密测量、加工、控制等设备精度的主要途径之一.综述了现有转轴激光多自由度误差测量方法,并分析了各种方法的优缺点,讨论了其发展趋势.

关键词：测量、转轴、多自由度运动误差、转角定位误差

所属期刊栏目：53

分类号：TH741(仪器、仪表)

资助基金：基本科研业务费2015JBM092

在线出版日期：2016-11-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：23-33